在速度方面：伺服电机+滚珠丝杆的方式在高速运行时可能会因负载的变化和机械设计、安装等导致共振，速度会因此受到限制；而直线伺服电机属于直接驱动，所以影响速度的因素只有直线伺服电机本身。

在精度方面：增加了滚珠丝杆的普通传动方式可能会因为滚珠丝杆本身的加工精度、安装精度等导致终定位精度达不到客户的需求；直线伺服电机直接驱动的特点减小了机械上的误差。光栅尺精度越高，实际的负载精度也会越高。

安川直线伺服电机具备高速、高精度的优点

在加速度方面：普通传动机构在使负载轻量化的情况下，加速度的提升率仍旧较低；直线伺服电机在相同情况下加速度大幅提升。

在发热方面：由于长时间高速运行导致的发热可能会引起滚珠丝杆膨胀，使定位精度产生偏差；但直线伺服电机对周边的热传导较小，可确保高定位精度。

在构造方面：在直线运动中，行程比较大的情况下，滚珠丝杆很难进行延伸；但是直线伺服电机可以加装多个定子，进行扩展，也可以在一个定子上安装多个动子，从而在同一个轴上进行多种动作。

安川直线伺服电机具备高加速度、简单构造优点

在噪音方面：普通传动机构在高速运行时容易产生较大的噪音；直线电机由于直接驱动省去了大部分的机械接触，所以高速运行时噪音较小。

在维护方面：普通传动机构的机械接触部分较多，需要定期维护与保养；直线电机除了本身定子、转子和导轨部分外，其他的机械较少，所以维护保养也更加容易。